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전계방사형주사전자현미경 (Field Emission Scanning Electron Microscope)

전계방사형주사전자현미경 기자재 정보
분류 공실관
분석연구원 배승묵
전화번호 063-469-1901
설치장소 FE-SEM실(3107호)
상태 신청가능
분석료 기본료 : 20,000원
• FE-SEM
   20000원/시간
   추가 : 5,000원/시료
• EDS
   25,000원/시간
   추가 : 5,000원/시료
• OSO4 Coating(10s,stub) : 30,000원/회
모델명 S-4800+EDS(HORIBA : EX-250)
제조사 HITACHI

신청하기 예약현황 목록

장치용도
・분해능 : 1.0nm(15kV)
・배율 : x20 ~ x800,000
・시료의 표면 및 단면두께와 성분 분석
세부분석/특기사항
1) FE-SEM

1. 분해능 : 1.0nm (at 15kV), 2.0nm (at 1kV)
2. 배율 : x20 ~ x800,000
3. 전자총 : Cold Type Field Emission
4. 가속전압 : 0.5 to 30kV
5. Specimen stage : X, Y : 50mm x 50mm
Z : 1.5 to 40mm
T : -5˚ to +70 ˚
R : 360˚

2) EDS

1. 분해능 : 137eV at 30mm2(MnKa)
2. 검출범위 : B(5) to U(92)
3. 분석내용 - 정량분석
- 정성분석
※ 증착기
: Pt, Carbon, OsO4 coater
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