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주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)
- 분석연구원
- 김명석
- 연락처
- 063-469-1906 / 010-4103-3346
- 설치장소
- 3108호
- 상태
- 신청불가
- 모델명
- SU3800
- 제조사
- HITACHI
분석료
기본료 : 30,000원
• SEM
30,000원/시간
추가 : 5,000원/시료
• EDS
50,000원/시간
추가 : 5,000원/시료
- 전처리 : pt - 5,000원/ 회
(교내 50 % 할인)
• SEM
30,000원/시간
추가 : 5,000원/시료
• EDS
50,000원/시간
추가 : 5,000원/시료
- 전처리 : pt - 5,000원/ 회
(교내 50 % 할인)
주요규격
1) 분해능 : 3.0nm at 30kV / 15nm at 1kV (SE)
4.0nm at 30kV / 10nm at 5kV (BSE)
2) 최대배율 : x300,000 (Photo mode) / x800,000 (Display mode)
3) 전자총 : Tungsten filament source
4) 가속전압 : 0.3 to 30kV
5) 최대 시료 크기 : 200mm diameter x 80mm Height
6) 저진공 범위 : 6 to 650Pa
4.0nm at 30kV / 10nm at 5kV (BSE)
2) 최대배율 : x300,000 (Photo mode) / x800,000 (Display mode)
3) 전자총 : Tungsten filament source
4) 가속전압 : 0.3 to 30kV
5) 최대 시료 크기 : 200mm diameter x 80mm Height
6) 저진공 범위 : 6 to 650Pa
세부분석/특기사항
아주 미세한 Gun Electron Source - 텅스텐(310) Tip - 로 부터 인가된 일차 전자가 시료에 조사되면서 이때 발생되는 다양한 전자 (Secondary Electron, Backscattered Electron, Cathode Luminescence, etc.)를 이용하여 시료 표면의 미세한 구조를 확대 ,관찰하는 기기로서 일반 광학현미경과 비교하여 분해능과 집점심도가 우수하여 sample의 표면관찰은 물론 조성등을 관찰함으로서 시료의 특성 ,표면구조 및 결합을 관찰하는데 사용되는 분석기기이다. 특히 저진공에서 metal coating 없이 시료를 관찰할 수 있어서 생물 시료를 관찰하기에 용이하다.