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열및레이저 진공증착기(Thermal and Pulsed Laser Deposition System)
- 설치장소
- 자과대2호관 진공증착실
- 상태
- 신청불가
- 모델명
- VPL-601
분석료
시간당 : 30,000원
하루(8시간) : 200,000원
주당(5일) : 800,000원
(단, 시료는 사용자 부담)
하루(8시간) : 200,000원
주당(5일) : 800,000원
(단, 시료는 사용자 부담)
장치용도
- 자성재료, 저항막, 전극, 반사막 태양전지, 자성막 및 절연막 반도체소자
- 센서 및 전자 부품 개발
- 센서 및 전자 부품 개발
세부분석/특기사항
- Process Chamber Dimension,
- Vacuum pump
- Gas supply
- Gauge
- Target carrousel
- Substrate Module
- Vacuum pump
- Gas supply
- Gauge
- Target carrousel
- Substrate Module