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전계방사형주사전자현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope)
- 분석연구원
- 배승묵
- 연락처
- 063-469-1905 / 010-6358-1492
- 설치장소
- 3109호
- 상태
- 신청가능
- 모델명
- S-4800+EDS(HORIBA : EX-250)
- 제조사
- HITACHI
분석료
기본료 : 40,000원
• FE-SEM
40,000원/시간
추가 : 5,000원/시료
• OSO4 Coating(10s,stub) : 60,000원/회
※직접사용만 접수 가능※
• FE-SEM
40,000원/시간
추가 : 5,000원/시료
• OSO4 Coating(10s,stub) : 60,000원/회
※직접사용만 접수 가능※
장치용도
・분해능 : 1.0nm(15kV)
・배율 : x20 ~ x800,000
・시료의 표면 및 단면두께와 성분 분석
・배율 : x20 ~ x800,000
・시료의 표면 및 단면두께와 성분 분석
세부분석/특기사항
1) FE-SEM
1. 분해능 : 1.0nm (at 15kV), 2.0nm (at 1kV)
2. 배율 : x20 ~ x800,000
3. 전자총 : Cold Type Field Emission
4. 가속전압 : 0.5 to 30kV
5. Specimen stage : X, Y : 50mm x 50mm
Z : 1.5 to 40mm
T : -5˚ to +70 ˚
R : 360˚
2) EDS
1. 분해능 : 137eV at 30mm2(MnKa)
2. 검출범위 : B(5) to U(92)
3. 분석내용 - 정량분석
- 정성분석
※ 증착기
: Pt, Carbon, OsO4 coater
1. 분해능 : 1.0nm (at 15kV), 2.0nm (at 1kV)
2. 배율 : x20 ~ x800,000
3. 전자총 : Cold Type Field Emission
4. 가속전압 : 0.5 to 30kV
5. Specimen stage : X, Y : 50mm x 50mm
Z : 1.5 to 40mm
T : -5˚ to +70 ˚
R : 360˚
2) EDS
1. 분해능 : 137eV at 30mm2(MnKa)
2. 검출범위 : B(5) to U(92)
3. 분석내용 - 정량분석
- 정성분석
※ 증착기
: Pt, Carbon, OsO4 coater