기본료 : 30,000원
• 기본료 : 30,000원
• 30,000원/시료(기본 1시간, 3point)
   (기본 mode : Contact, Non-contact)
• Tip 가격 별도 : 개당 50,000원
(교내 50 %할인)

탐침과 시료간에 작용하는 힘을 이용하여 시료 표면을 측정하는 장비이다. 탐침의미세한 움직임을 피에조 스캐너를 이용해서 피드백을 하는 원리로 작동한다. 최소 단위 0.01nm의 수준의 수직 분해능을 측정 할 수 있다. 일반적으로 3D 데이터를 측정하여 이미지를 획득하고 다양한 물리적 특성 표면 거칠기, 위상변화, 전기적인 특성의 측정이 가능 하다.

- 주요규격 :
스캐너 크기 : X-Y = 125um x 125um, Z = 5um
샘플 크기 : X-Y 15mm dia, Z 6mm thick
- 세부분석(측정 모드)
● Contact Mode
● Tapping Mode
● Lateral Force Microscopy (LFM)
● Phase Imaging
● LiftMode Mode
● Force-Distance & Curve
● TR(Torsional Resonance) Mode
● ScanAsyst Mode
● PeakForce Tapping Mode
● Electric Force Microscopy (EFM)
● Magnetic Force Microscopy (MFM)
● Kelvin Probe Force Microscopy (KPFM or SPoM)